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光化學及光催化氧化法是目前研究較多的一項高級氧化技術。所謂光催化反應，就是在光的作用下進行的化學反應。光化學反應需要分子吸收特定波長的電磁輻射，受激產生分子激發態，然后會發生化學反應生成新的物質，或者變成引發熱反應的中間化學產物。光化學反應的活化能來源于光子的能量，在太陽能的利用中光電轉化以及光化學轉化一直是十分活躍的研究領域。
光催化氧化技術利用光激發氧化將O2、H2O2等氧化劑與光輻射相結合。所用光主要為紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工藝，可以用于處理污水中CHCl3、CCl4、多氯聯苯等難降解物質。另外，在有紫外光的Fenton體系中，紫外光與鐵離子之間存在著協同效應，使H2O2分解產生羥基自由基的速率大大加快，促進有機物的氧化去除。
..重，有干式過濾油漆中的樹脂，分為2道粗效和一道中效阻燃纖維過濾器。
第二重，以紫外線光源對廢氣分子鏈進行凈化的專業技術為核心，利用253.7納米光波段光將VOC、二甲苯、甲醛、苯等作業毒物的分子鏈，切割、斷鏈、燃燒、裂解。
第三重，利用185納米波段光對廢氣分子進行催化氧化，使破壞后的分子或中子、原子以O3進行結合，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈，將其轉化為CO2、H2O等低分子化合物。
第四重，以蜂窩狀金屬網為載體，放置7種以上惰性催化劑，使之發生催化效果。將光源效果放大10-30倍，縮短時間，并提高凈化效率。另外，在這一階段催化劑本身便具有類似于植物的光合效果，它可在催化光源反應的同時參與廢氣的凈化。
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